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製品紹介

大気炉

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TNTC-A タングステンヒーター（角型チャンバー）
※単位(mm)
加熱ゾーン 650mmW×650mmD×800mmH ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
最大温度 1800℃で使用可能
真空 Rotary pump
ヒーター タングステンロッドヒーター
断熱材 セラミックス断熱材
雰囲気 N2 + H2, Ar
ユーティリティー 電力100kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー
特徴
  • ・断熱性に優れるため、消費電力も少ない
  • ・プロセスガス加湿システム
  • ・急速冷却のための強制冷却
オプション 酸素分圧調整装置
TNTC-B タングステンヒーター（角型チャンバー）
※単位(mm)
加熱ゾーン 550mmW×550mmD×600mmH ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
最大温度 1800℃で使用可能
真空 Rotary pump
ヒーター タングステンロッドヒーター
断熱材 セラミックス断熱材
雰囲気 N2 + H2, Ar
ユーティリティー 電力70kVA, 冷却水, プロセスガス,エアー
特徴
  • ・断熱性に優れるため、消費電力も少ない
  • ・TNTC-Aに比べ安価
  • ・プロセスガス加湿システム
  • ・急速冷却のための強制冷却
オプション 酸素分圧調整装置
TNMA-N1 (特許) 多段式マルチ雰囲気炉
※単位(mm)
加熱ゾーン お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能
ヒーター Al2O3シースヒーター
断熱材 Al2O3成型断熱材
雰囲気 大気、N2、Ar、NH3、O2など各種のガス
試料積載台 Al2O3プレート
特徴
  • 1) Ar、N2、H2、NH3、O2等様々な雰囲気で使用
  • 2) 多段式ヒーター構造で温度分布が良い
  • 3) 炉の内部がAl2O3構造で汚染が少ない
  • 4) )ヒーターゾーンは同じ材料で製作可能
    チタン断熱材-チタンヒーター、グラファイトヒーター-グラファイト断熱材、
    SUS断熱材- SUSヒーター、Cu断熱材-Cuヒーター
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