メタル炉
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TNRLT Front Loading 方式の メタル炉
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 使用温度 | 最大 1700℃ |
| 雰囲気圧力 | 10-4Pa~1.4×103Pa |
| 雰囲気 | 真空,Ar, N2, He, H2 |
| ヒーター | Tungsten or Molybdenum |
| 断熱材 | Tungsten + Molybdenum |
| 用途 | 各種材料の焼成、電子部品、ガラス製品 |
| Option | NH3, 約1MPaまでの加圧 |
TNRTT Tungsten Vacuum Furnace
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 150 Dia x 300H |
|---|---|
| 最大温度 | 2500℃ |
| 真空度 | 5 x10-5 torr |
| Gas | N2 |
| ヒーター | Tungsten Mesh ヒーター |
| Insulation | W+Mo |
TNERT TNERT 台車乗降式の高温真空炉
※単位(mm)
| EFD - 20M | EFD - 30M | EFD - 40M | |
| 加熱ゾーン | 200Φ X 200H | 300Φ X 300H | 400Φ X 400H |
| 使用温度 | 2200℃ | ||
| 圧力 | 10-3Pa~105Pa | ||
| 雰囲気 | 真空, N2, Ar, He | ||
| 発熱体 | Tungsten ヒーター | ||
| 電力(KVA) | 40 | 40 | 100 |
| 冷却水(ℓ/min.) | 40 | 60 | 100 |
TNGF-4609 六面 ヒーター TYPE (四角タイプのチャンバー)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 140mmW×140mmH×170mmD ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 常用 1800℃ |
| 真空度 | 10(-6)g |
| 雰囲気 | N2 |
| ヒーター | Tungsten Rod ヒーター |
| 断熱材 | タングステンとモリブデンの組み合わせ |
| ユーティリティー | 電力25kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
