グラファイト炉
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TNBF-6565 Baking Furnace (両面ヒーター方式)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 650mmW×650㎜D×600mmH ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 1500℃ ∼ 2900℃ |
| 真空度 | 10（-2）torr帯 ※Diffusion pump設置時は10-5Torr |
| 使用ガス | H2, N2, Ar, HCl, Cl2 |
| ユーティリティー | 電力90kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| オプション |
|
TNBF-9090 多段式加熱炉
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 1000mmW×1000mmD×650mmH, 6段 ※サイズ及び段数はお客様のニーズに合わせて変更可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 1500℃ ∼ 2900℃ |
| 真空度 | 10(-2) torr帯 ※Diffusion pump設置時は10-5Torr |
| 使用ガス | H2, N2, Ar, HCl, Cl2 |
| ユーティリティー | 電力180kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| オプション |
|
| 特徴 |
|
TNGF-4410 四面ヒータータイプ(四角タイプのチャンバー)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 1200mmW×1000mmH×1700mmD ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 1700℃ |
| 製品寸法 | 1000W x 800H x 1500D(mm) |
| 真空度 | 10(-2) torr帯 |
| 使用ガス | N2, Ar, 真空 |
| ユーティリティー | 電力300kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| ヒーター | Graphite Rod Type ヒーター |
| 断熱材 | グラファイト成形断熱材 |
| Zone制御方式 | 2 Zone制御方式 |
TNGF-4609 六面ヒータータイプ(四角タイプのチャンバー)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 900mmW×1100mmD×850mmH ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 1850℃ |
| 真空度 | 10(-5) torr帯 Diffusion Pump + MBP + Rotary Pumping |
| 使用ガス | N2, Ar, 真空 |
| ユーティリティー | 電力400kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| ヒーター | Graphite Rod Typeヒーターを上下左右前後の6面に設置し加熱 |
| 断熱材 | グラファイト成形断熱材 |
| Zone制御方式 | 4 Zone制御方式 |
| Inner Box | Graphite inner box内にTungsten Plateを設置 |
| 冷却装置 | 強制冷却方式を付着 |
TNGF-4614 六面 ヒーター TYPE (四角タイプのチャンバー)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 1400mmW×1400mmD×800mmH ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 2650℃ |
| 真空度 | Dry Pump |
| 使用ガス | N2, Ar |
| ユーティリティー | 電力800kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| ヒーター | Graphite Rod Typeヒーターを上下左右前後の6面に設置し加熱 |
| 断熱材 | グラファイト成形断熱材 |
| Zone制御方式 | 4 Zone制御方式 |
TNGF-0405 四面 ヒーター TYPE (ラウンドタイプのチャンバー)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 550mmW×550mmH×1100mmD ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 製品寸法 | 450mmW×500mmH×950mmD |
| 最大温度 | 1700℃ |
| 真空度 | 10(-5) torr帯 (Diffusion Pump 付着) |
| 使用ガス | N2, Ar, 真空 |
| ユーティリティー | 電力150kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| ヒーター | Graphite Rod Type ヒーター |
| 断熱材 | グラファイト成形断熱材 |
| Zone制御方式 | 2 Zone制御方式 |
TNGF-0006 ラウンドタイプヒーター (ラウンドタイプのチャンバー)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 650 Dia. x 1520D ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 1800℃ |
| 真空度 | 10(-2) torr帯 |
| ユーティリティー | 電力150kVA, 冷却水, プロセスガス, エアー |
| ヒーター | Graphite Rod Type ヒーター |
| 断熱材 | グラファイト成形断熱材 |
| Zone制御方式 | 2 Zone制御方式 |
| 雰囲気 | Arガス |
TNGF-00T02 ラウンドタイプヒーター(上積み方式)
※単位(mm)
| 加熱ゾーン | 260 Dia. x 350H ※お客様のニーズに合わせてカスタマイズ可能 |
|---|---|
| 最大温度 | 使用 2800℃ 最高 3000℃ |
| ユーティリティー | 電力130kVA, 冷却水, プロセスガス |
| ヒーター | Graphite Round Type Heate |
| 断熱材 | Graphite Soft Felt |
| 雰囲気 | Arガス |
| 設置スペース | 2500W x 2000D x 1900H(mm) |
